原子尺度揭示低损伤阈值成因
厘清表面微裂纹等宏观缺陷伴随的氧空位浓度特征及其对激光损伤抗性的影响，为超精密加工中的缺陷抑制提供原子级依据。
Ding, Wenyu · Zhao, Linjie · Mingjun, Chen · 程健 · Yin, Zhaoyang · 刘强 · 陈光 · Hongqin, Lei
Applied Surface Science 2024
将裂纹的低损伤阈值归因于氧空位缺陷，为工艺优化提供明确的原子级靶点。
高浓度氧空位导致PO₄³⁻基团塌缩并引入缺陷能级，使自由电子更易吸收光子跃迁。
通过表征氧空位浓度可评估表面加工质量，为抑制表面缺陷的超精密加工提供依据。