抛光至3–6 nm
磨料粒径减小使第一法向应力差显著升高，强化抛光效果，实现石英玻璃纳米级表面粗糙度。
陈兆翔 · 孙立宁 · 谢瑞清 · Zhaoyuan, Jiang · 蒋庄德
Physics of Fluids 2026