双稳态RF MEMS开关

零功耗保持

用简单脉冲信号驱动，无需复杂控制电路即可在断电后保持导通状态。

Rusong, He · Lyuyan, Wang · Sun, Zhenci · 赵嘉昊

Journal of Microelectromechanical Systems 2024

参数信息

锁存电压

18 V

解锁电压

14 V

技术优势

零功耗保持

双稳态结构使开关在锁存后无需任何驱动即可保持ON状态，彻底消除了静态功耗。

无需复杂控制电路

使用单个脉冲信号即可完成开关动作，替代了以往需要多路时序或专用驱动芯片的方案。

驱动电压低

通过设计电极形状降低吸合电压，锁存仅需18V脉冲，解锁14V，便于与低压控制电路集成。

应用场景

• 射频前端：零功耗保持的双稳态开关可简化射频前端偏置网络，降低待机功耗。
• 低功耗无线通信：无需持续供电即可保持导通，适合用于传感器节点等需长期值守的低功耗终端。
• MEMS器件：仅两块掩模、玻璃上硅工艺，可在标准MEMS产线批量制造。