U形硅体隧道场效应晶体管

驱动电流更灵敏

通过将源漏电极垂直插入U形硅体两侧,显著增大隧穿发生区域面积,实现比主流FinFET更低的亚阈值摆幅与静态功耗。

刘溪 · Wu, Meile · 靳晓诗

PLoS ONE 2023

技术优势

驱动电流更灵敏

通过刻蚀U形硅体并将源漏垂直插入两侧,显著增大了源漏接触附近能带间隧穿产生区域的有效面积,从而获得更灵敏的开态电流驱动能力。

亚阈值摆幅更低

与主流FinFET技术相比,该结构实现了更低的亚阈值摆幅,有利于器件在低电压下快速开关。

静态功耗更低

与主流FinFET相比,该器件具有更低的静态功耗,适用于对能耗敏感的应用。

开关比更高

该结构实现了比主流FinFET更高的Ion-Ioff比,有利于提高逻辑电路的噪声容限和可靠性。

应用场景