氦/氩混合等离子体钨绒

抑制物理溅射

多孔纳米结构可捕获溅射粒子，降低靶面侵蚀。

Yang, Kunru · Chen, Jiayang · Zu C.R. · 倪维元 · 刘东平 · 刘升光 · Cui B. · 戴舒宇

Nuclear Materials and Energy 2024

具体参数

当绒层厚度

{'zh': '1500', 'en': ''} nm

技术优势

氦/氩混合等离子体辐照下，净物理溅射主要发生在局部孔隙率大于0.6的区域