栅漏调控阈值稳定性
通过优化栅极漏电流,同时消除了正栅压下的负向阈值漂移并大幅降低关态应力下的正向漂移,无需牺牲栅可靠性。
Favero D. · De Santi, Carlo · Stockman, Arno · Nardo, Arianna · Vanmeerbeek, Piet · Tack, Marnix R. · Meneghesso, Gaudenzio · Zanoni, Enrico · Meneghini, Matteo
Microelectronics Reliability 2023
适度的栅漏电流可消除正栅压下出现的负向阈值电压不稳定性。
相同的适度栅漏电流同时大幅降低关态应力下的正向阈值漂移。
优化后的栅漏电水平在改善阈值稳定性的同时,不会损害栅极可靠性。