非接触超精密
采用光谱共焦位移传感器和超精密直线平台，替代传统接触式测头，避免测力对微小工件的损伤。
Li, Qiaolin · Yifeng, Wang · Jingwen, Li · 王晓浩 · 李星辉
Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2023
无需测针接触，彻底消除测量力造成的移动、钩挂和表面损伤。
单个协调建模划分方法即可得到直径和圆度，无需多台设备或重新装夹。
可测量直径0.5 mm、长度50 mm的细长圆柱，接触式测头易使其偏斜。