抽气量提升8.74%
通过径向间隙优化降低壁面熵产,在提升抽气量的同时改善等温压缩效率。
Huayi, Liu · 赵国永 · Yu, Shuo · Qingyun, Li · Yanjie, Li · Meng, Fanrui
Vacuum 2025
优化后的模型抽气量提升8.74%,直接提高泵的输送能力。
等温压缩效率提升3.75%,意味着相同抽气量下能耗更低。
壁面效应熵产降低19.7%,减少了气体压缩区域壳体的能量耗散。