5纳米间隙大规模制备
将深紫外干涉光刻、分子自组装与剥离技术结合，首次实现5纳米金属间隙纳米狭缝阵列的晶圆级制备，为高灵敏SERS检测提供可直接使用的基片。
Luo, Sihai · Li, Dongxian · 院校 · Chen, Lijuan · Chen, Xiaoliang · 杨东旭 · 罗先刚 · 邵金友
Nano Letters 2025
深紫外干涉光刻与分子自组装相结合，可在晶圆尺度重复制备间隙约5 nm的金属纳米狭缝阵列。
作为SERS基片，可检测浓度低至1 pM的罗丹明6G，分析增强因子达2.2 × 10⁷。
Au-Ag混合纳米狭缝中的同相杂化模式使场增强比单一金属阵列提高2.6倍。