薄膜压力传感器

免标定测冲击波超压

利用薄膜加速度与压力成正比关系直接测压，摆脱传统传感器的校准依赖。

王昭 · 吴祖堂 · 阳君 · Yan, Li · 刘文祥

Baozha Yu Chongji/Expolosion and Shock Waves 2023

参数信息

膜片厚度

50–70 µm

拟合时长

0.8 µs

相对误差

3 %

技术优势

免标定

利用压力与膜片加速度的正比关系直接测量，无需标定即可得到压力峰值。

测量精度高

采用二阶多项式拟合速度数据，有效避免线性拟合引入的模型误差，相对误差控制在3%以内。

成本低

传感器结构简单、制作方便，无需复杂标定设备，降低了使用成本。

应用场景

• 冲击波测量：直接测量冲击波反射超压峰值，无需标定，适合快速部署。
• 压力传感器：提供一种免标定的压力传感方案，降低维护成本。
• MEMS传感器：薄膜结构简单，可望与MEMS工艺结合实现微型化。
• 爆炸冲击测试：适用于爆炸冲击测试中冲击波超压峰值的快速测量。