高效耦合AR/VR光
基于紫外纳米压印工艺，以斜角刻蚀硅主模复制工作模，适合低成本批量制造用于AR/VR波导的高折射率斜光栅。
Si, Chen · 陈浩 · Yi Fan, Gao · 陈小锋 · Hao, Zongbin · 张鉴 · 陈卓 · 葛海雄
Optics Express 2024