低功耗柔性
这种基于高质量晶圆级单层MoS₂的薄膜晶体管在刚性和柔性基底上实现了低于1V的集成运算,深亚阈值操作下具有极低漏电,满足可穿戴和植入式电子对低功耗与柔性的双重需求。
唐建 · Wang, Qinqin · Tian, Jinpeng · 李笑梅 · Li, Na Na · Peng, Yalin · 李秀珍 · Zhao, Yanchong · 何聪丽 · Wu, Shuyu · 黎嘉威 · Guo, Yutuo · Huang, Biying · Chu, Yanbang · Ji, Yiru · 尚大山 · 杜罗军 · 杨荣 · 杨蔚 · 白雪冬 · 时东霞 · 张广宇
Nature Communications 2023
超薄高κ介质/金属栅极结构有效控制沟道,使柔性集成电路在低于1V电压下可靠工作,大幅降低功耗。
高κ介质有效抑制栅极漏电,器件呈现超低泄漏电流,适合对功耗敏感的便携和植入式应用。
高质量介电界面减少了电荷陷阱,使得器件迟滞极小,有利于精确的模拟和数字电路操作。