声光多焦点扫描模块

无惯性扫描

用声光扫描和空间光切换同时实现高速、高精度和高设计自由度的多光子光刻。

Jiao, Binzhang · Chen, Fayu · Liu, Yuncheng · Fan, Xuhao · 曾绍群 · Qi, Dong · 邓磊敏 · 高辉 · 熊伟

International Journal of Extreme Manufacturing 2023

参数信息

3D打印速率

7.6 × 10⁷ voxel s⁻¹

技术优势

无惯性扫描

声光偏转器无机械运动部件，消除了振镜的惯性限制，实现超高速度和像差自由的扫描。

并行焦点提升吞吐量

空间光开关实现八焦点并行加工，在不牺牲分辨率和设计自由度的前提下显著提升打印速率。

打印速率破纪录

实测达到7.6×10⁷ voxel/s，比此前扫描式MPL高近一个数量级。

应用场景

• 微纳3D打印：高速制造纳米级三维结构，用于微光学、光子晶体等。
• 光学器件制造：直接打印微光学元件，无需掩模，设计自由度高。
• 微流控芯片制造：快速制造复杂微流道结构，缩短芯片开发周期。
• 超材料制造：打印具有亚波长特征的三维超材料，实现特殊电磁响应。