抗200g冲击
用光敏聚酰亚胺替代脆性二氧化硅做电热隔离，让微镜能承受跌落和强振动，不再一碰就碎。
Yang, Hengzhang · Ren, Anrun · Ding Y. · Xiao, Lei · Pan, Teng · 谢会开
Microsystems and Nanoengineering 2023
在所有冲击、跌落和振动测试中，PSPI微镜表现出的鲁棒性至少是同一批次SiO2微镜的4倍，因为聚酰亚胺比二氧化硅更具柔韧性。
仅需4 Vdc即可实现±19.6°光学扫描角和370 μm垂直位移，可直接用标准电源驱动，无需高压放大器。
在跌落测试中，PSPI微镜从高达21 cm的高度跌落到硬地面后仍能存活，适合便携式设备中的意外坠落场景。
在冲击实验中，PSPI微镜能够承受来自垂直或横向超过200 g的加速度，远超常规MEMS器件的抗冲击能力。