皮秒激光切割InGaN LED外延片

裂纹宽度12 µm

相比传统刀片切割显著减少表面裂纹与崩边,光效大幅提升,专为蓝宝石衬底InGaN LED制造优化。

Xiao-Hong, Zhang · Weihao, Chen · Wen, Dongdong · Jie, Jiang · 石照耀 · Renfeng, Zhang · Qihong, Huang · Biqiong, Yu · Ibrahim, Ahmed Mohamed Mahmoud

Materials Today Communications 2025

参数信息

裂纹宽度
12 µm
崩边深度
14 µm
最大平均光照度提升
300 %
发光效率提升
193.5 %

技术优势

裂纹显著收窄

共聚焦显微镜测量显示,激光切割的裂纹宽度仅为12 µm,远小于传统刀片切割。

崩边深度更浅

崩边深度降至14 µm,有助于保持外延层完整,避免发光区域受损。

光提取效率大幅提升

最大平均光照度提升300%,发光效率提升193.5%,意味着更多光子从芯片发出而非被缺陷损耗。

应用场景