原位定量拉压测试
将致动器、传感器和测试台集成于单一 MEMS 芯片，可在电子显微镜下原位定量表征纳米材料在拉压载荷下的机电响应。
Yuheng, Huang · Wu, Meile · Chengyu, Gao · Yang, Zong · Wen, Lei · Wu, Bozhi · He, Zhang
Sensors and Actuators, A: Physical 2026
同一器件既能定量拉伸也能压缩，覆盖更全面的力学响应。
在施加力学载荷的同时记录电阻变化，直接获得机电耦合行为。
集成差分电容传感器实现位移的精确测量，保证力学数据的可靠性。