像素化超表面

微角度即插即测

每个像素点对角度变化都有独特的超灵敏响应，像条形码一样直接读取绝对角度信息，无需复杂系统校准。

Wanghang, Gu · Xianfeng, Zhang · Liu, Junchen · Zheng, Jihui · Huang, Haozhen · 贾琳华 · 曲兴华 · 张福民

Laser and Photonics Reviews 2023

参数信息

角度传感分辨率

2.8 μrad

绝对角度测量平均误差

7 μrad

技术优势

无需复杂校准

每个像素点具有独特的超灵敏角度响应，形成角度条形码，可直接读取绝对角度信息。

分辨率达微弧度量级

实验测得角度传感分辨率低至 2.8 μrad，绝对角度测量平均误差为 7 μrad。

系统结构紧凑

采用像素化超表面替代传统复杂光学系统，配合C波段OFC激光源即可实现高精度测量。

应用场景

• 精密光学对准：提供微弧度量级分辨率，直接读取绝对角度。
• 运动台角度校准：无需复杂标定即可校准运动台角度。
• 机器人关节角度传感：超高精度传感改善关节控制与定位。
• 无人机姿态测量：提供轻量、高精度的姿态角测量。
• 微角度计量标准：可作为微角度计量标准溯源。