钼飞秒激光烧蚀模型

揭示钼在不同功率下的烧蚀形貌演变和氧化机制,为高质量微纳加工提供指导。

刘常 · Qing, Zhang · Junjie, Liu

Optical Materials 2026

技术优势

看清功率怎么变形貌

通过实验和模拟给出了低、中、高功率下三种特征形貌(层状波纹、蜂窝、微米级周期结构),为工艺参数选择提供了明确对应关系。

说清氧化机制

揭示了氧化先因激光清洗效应减弱、后因二次氧化主导而增强的机制,有助于控制烧蚀产物的化学状态。

模拟到原子尺度

通过TTM-MD与ReaxFF分层耦合,成功模拟了超快能量沉积与动态化学键演化,并预测了bcc到hcp的晶格转变。

应用场景