皮秒激光硒掺杂黑硅光电二极管

近红外响应 2670 mA/W

通过调控硒前驱体膜厚度,实现峰值掺杂浓度和耗尽层宽度的独立控制,从而在近红外波段获得极高的光电响应。

杜玲艳 · Shiping, Liu · Fusong, Chen · 任先培 · Li, Qiang

Infrared Physics and Technology 2025

参数信息

峰值掺杂浓度
0.50 %
峰值掺杂浓度
0.53 %
峰值掺杂浓度
0.81 %
响应度
2670 mA/W

技术优势

掺杂浓度可调

通过改变Se前驱体膜厚度,可无级调控峰值掺杂浓度,实现0.50%到0.81%的连续变化。

近红外高响应

250 nm Se前驱体制备的二极管在-8 V偏压、1064 nm下响应度高达2670 mA/W,超过典型硅探测器。

开关性能最优

350 nm Se前驱体制备的二极管具有最佳的整流和光学开关特性,有利于高速调制应用。

应用场景