抗腐蚀MEMS流量传感器

氨液168小时稳定

针对氨气流量测量中的腐蚀问题，采用聚对二甲苯C涂层和多孔硅隔热结构，大幅提升传感器的耐碱腐蚀性和测量一致性。

Wei, Tian · Yuhan, Liu · Jiale, Kang · Zhitao, Liao · Yuzhe, Lin · 陶继方

IEEE Electron Device Letters 2025

具体参数

零流量电压差从

2.02 %

技术优势

在25 wt%氨水中稳定超过168小时

可与N₂校准方案兼容，支持大规模生产