飞秒激光加工氮化硅微结构

脆硬陶瓷表面精密成型

在氮化硅陶瓷表面加工出平行沟槽结构，为提升其服役性能提供一种可靠加工途径。

张华

Micromachines 2024

技术优势

扫描路径与激光偏振方向夹角越大，表面越光滑

沟槽深度随扫描次数增加而增大，达到一定次数后不再增加