表面反应性增强
通过热处理相变预处理,金刚石线锯多晶硅片在金属辅助化学刻蚀后获得更均匀的绒面形貌,使太阳能电池效率在同产线上提升。
Zhang, Jinbing · Zhou, Xiaoying · Hu, Dongli · 原帅 · Erhui, Cai
Surfaces and Interfaces 2023
热处理使表面无定形硅层发生相变,其在MACE刻蚀液中的反应性提高,刻蚀后绒面均匀性和形貌显著改善。
该预处理作为湿法刻蚀的补充步骤,可在现有产线上直接实施,无需额外设备改造。