氮化铝微通道阵列

深宽比8.6:1 轮廓偏差0.1%

通过盐酸膜辅助激光加工技术，在氮化铝陶瓷上实现高深宽比微通道阵列，显著提升电子封装散热性能，并可推广至多种热活性材料。

He, Ning

International Journal of Machine Tools and Manufacture 2026

参数信息

轮廓平均偏差降低

30.11 %

加工效率提高

3845.2 %

微通道阵列轮廓偏差仅

0.1 %

技术优势

深宽比 8.6:1