振动激励固体罩抛光工具

抑制中频误差压印

通过振动激励扰动工具运动轨迹，均匀化材料去除梯度，从而抑制压印划痕形成，减少后续平滑迭代。

Jiahao, Yu · 王维 · 崔海龙 · Nannan, Wu · Zhao, Feng · Hai, Kuo

Optics and Laser Technology 2025

技术优势

抑制划痕形成

通过振动激励扰乱工具运动轨迹，使材料去除梯度均匀化，从根源上减少周期性划痕的产生，而不是在划痕出现后再进行修补。

减少后续工序

抑制了压印划痕，残留在表面的中频误差更少，因此可以缩短或省略原本为去除这些误差而设置的平滑迭代步骤。

直接集成现有机床

该方法只需要在工具上附加振动激励，无需改动抛光机床的整体结构，可以方便地集成到现有加工流程中。

应用场景

• 光学精密制造：在光学元件抛光环节抑制中频误差，避免多次返工和长时间平滑修补。
• 激光系统光学元件：降低激光系统中光学元件的中频误差，提高光束质量和系统性能。
• 成像系统光学：减少成像光学元件的中频误差，提高成像对比度和分辨率。
• 超精密抛光：在同等的超精密抛光配置基础上，增加振动激励实现亚表面损伤控制。