软硬复合结构砂轮

近无裂纹表面

通过凝胶控制磨粒出露高度，实现纳米级切深，加工SiC衬底表面几乎无裂纹。

Luo, Qiufa · 陆静 · 黄辉

Materials 2024

技术优势

加热温度110 °C，树脂与凝胶组分比4:6

表面几乎无裂纹

通过控制磨粒出露高度实现纳米级切深