灵敏度非线性双优
通过集成应力集中微结构和局部刚度调节，同时提升压阻式MEMS微压传感器的灵敏度并抑制非线性误差，实现高保真压力感知。
Lei, Guo · Peicang, Chen · Yuqing, Liu · 刘艳 · 王卫东
Microelectronics Journal 2026
应力集中微结构与局部刚度调节的层次耦合使传感器输出与压力呈线性关系，从而提高信噪比。
RBFNN尺寸生成器直接从目标性能映射到几何参数，避免传统有限元反复试错。
训练好的网络可解决尺寸确定中的非唯一性问题，用户指定性能即可获得最优几何参数。
提出的性能驱动参数化框架适用于类似柔性结构的快速开发。