自对准超短沟道MoS2晶体管

40倍开态电流

通过自对准工艺实现亚1纳米栅长与亚50纳米沟道长度，开态电流比无自对准对照样品提高40倍以上。

Liu, Liting · Chen, Yang · 陈龙 · 李国立 · Kong, Lingan · Tao, Quanyang · Li, Zhiwei · Lu, Zheyi · Ma, Likuan · Lu, Donglin · Yang, Xiangdong · 刘渊

Nature Communications 2024

具体参数

开态电流

250 μA/μm

比无自对准工艺对照器件高

40 倍

沟道长度亚

50 nm

技术优势

开关比超过10^5