高声速表面波模式

耦合22.6%，速度6006 m/s

一种电场集中分布的模式，规避了布拉格反射器导电层感应电流引起的激励效率下降，在优化切型铌酸锂上同时实现大耦合与高声速。

Zilin, Li · Wenxuan, Li · Li, Hualin · Pingxu, Chen · Shi, Ruchuan · 韩韬

AIP Advances 2024

参数信息

机电耦合系数

22.64 %

声速

6006 m/s

技术优势

耦合效率稳定

模式电场集中于顶层，导电布拉格反射层中的感应电流对该模式的电场分布影响可忽略，因此实验耦合系数与理论预测一致，不会出现效率下降。

同时实现大耦合与高声速

所选模式在优化切型铌酸锂上具有22.64%的机电耦合系数和6006 m/s的声速，兼具高能量转换效率和高频应用潜力。

应用场景

• 射频滤波器：用22.64%的耦合和6006 m/s的声速做低插损、大带宽的滤波器。
• 5G/6G前端模块：高声速满足高频段频率要求，大耦合降插损，提高前端模块能效。
• 微声学器件：提供一种不易受导体层影响的模式，简化微声学器件设计。
• 薄膜体声波谐振器：该模式可用于FBAR的有源层，提升谐振器性能。