常规光刻可制备
利用阴影辅助侧壁发射技术,在常规紫外光刻条件下实现聚合物侧壁发光,制备出红绿蓝三色亚微米线宽光源。
Li, Junlong · Wang, Kun · 黄炜 · Hao, Su · 李文豪 · 周雄图 · Zhang, Yongai · 郭太良 · Wu, Chaoxing
Nano-Micro Letters 2025
工艺基于广泛采用的紫外光刻,通过金属阴影调制即可控制侧壁发光,摆脱了对精密微纳加工设备的依赖。
已成功演示红、绿、蓝三种颜色的亚微米光源,证明该方法对不同发光材料具有普适性。