柔性高精度电容位移传感器

直线圆弧都能测

同一传感器可在直线与圆柱形态间转换,覆盖直线和角位移测量,简化组合定位系统。

Xiaohu, Xu · Fan, Xingchen · Yu, Zhicheng · Wenhao, Teng · Jiaxing, Chen

2025

参数信息

直线位移测量误差
±6 μm
角位移测量误差
±17.5 ″

技术优势

一个传感器顶两个用

传感器可在直线与圆柱形态间转换,用同一结构完成直线和角位移测量,避免同时安装多种传感器。

又薄又小还能弯

电极印制在绝缘柔性基材上,传感器体积小、厚度薄,可弯曲贴合安装,适合空间受限或曲面场景。

工艺简单低成本

采用柔性印刷电路工艺制备电极,省略复杂的机械加工步骤,便于批量制作。

应用场景