高精度小结构加工
采用电化学加工方法，在Zr基块状金属玻璃上实现了高几何精度和表面质量的小结构加工。
张聚臣 · Haitao, Xu · Liu, Yang · Yue, Xiaokang · 陈顺华
Precision Engineering 2024
优化的电化学参数使加工的小孔直径相对误差仅为2.1%，侧壁锥度小于2.83°，形状精度高。
加工后的小圆孔粗糙度Ra约0.2 μm，表面光滑，无需后续抛光即可满足精密应用。
在0.1 mol/L HCl电解液中，采用3 μm/s阴极进给速度、10 V电压和15%占空比，可稳定加工出高精度结构。