弧束激光微电路

高效高质地制备

采用弧束激光诱导正向转移技术，通过精确控制微滴沉积，实现高性能金属微电路的高效制备。

Huang, Yajun · 谢小柱 · Yuhang, Luo · Li, Zhaoyan · Cui, Jiaqi · 龙江游

Journal of Materials Processing Technology 2023

技术优势

单脉冲沉积微滴

在单脉冲能量下即可完成金属微滴的转移和沉积，简化了工艺控制。

参数明确可控

弧束中心角和直径被确定为影响转移过程的主要因素，可据此优化工艺。

可视化揭示机制

开发的暗场成像系统可直观分析微滴转移过程，从而阐明弧束诱导微滴的转移机制。

应用场景

• 微电子制造：用于制备微电路，替代传统工艺提升性能与效率。
• 微增材制造：实现金属微滴的精确沉积，用于微尺度增材制造。
• 电路制造：高效制备高性能金属微电路，提升电路制造效率。
• 精密仪器：其可视化与分析能力可用于精密仪器中的微制造工艺开发。