纳秒激光预处理
通过纳秒激光预处理去除结节缺陷，使皮秒激光损伤阈值最高提升40%。
Shuai, Kun · 刘小峰 · 72588502 · 邱克强 · 李大卫 · Lin, Xiangkun · He, Gong · Sun, Jian · 戴亚平 · 邵建达
2023
纳秒激光预处理可去除结节缺陷，使光栅在8.6皮秒脉冲下的损伤阈值最高提升40%。
仅需纳秒激光扫描即可去除结节缺陷，无需改变光栅结构或增加复杂设备。
工作阐明了纳秒和皮秒激光下吸收性缺陷和结节缺陷的不同损伤行为，为工艺优化提供依据。