20 nm 分辨率
把光盘表面的显微凹坑当标尺，用机器视觉读出高分辨、大量程的位移。
Wu, Pengfei · 李伟杰 · 赵雪峰
Computer-Aided Civil and Infrastructure Engineering 2024
机器视觉将光盘凹坑转化为数字信息，并结合像素漂移和制造误差补偿，实现 20 nm 分辨率。
以整片光盘切片为标尺，量程可接近传感器自身尺寸，不再受光栅长度限制。
对亮度和角度等环境因素有较强鲁棒性，可在多种工况下使用。
针对像素漂移和制造误差提供了相应补偿方法，保证测量准确性。