振幅模型高精度
用于微电子芯片封装的新型双支级联复合结构超声换能器，其稳态振幅计算模型与实测最大偏差仅0.0221μm。
张宏杰 · Xinyue, Gao · Xiaochen, Liu · Junqiang, Wu
Nanomanufacturing and Metrology 2023
计算模型与实测数据吻合良好，最大偏差仅0.0221 μm，平均偏差0.0097 μm，足以支撑精密应用。
通过振动方程和传递矩阵解析构建模型，设计时即可预估振幅，无需反复制造和测试样机。
该换能器专为微电子芯片封装设计，模型可直接指导此场景下的换能器选型与振幅控制。