无吸附层石墨烯单晶

厚度均匀可批量

通过界面化学势工程抑制吸附层，6英寸单晶石墨烯薄膜厚度均匀、电学性能一致。

Zhang, Dapeng · Xie, Fan · Puyan, Li · Liao, Junhao · Hu, Zhaoning · Cai, Ali · Ziqi, Wang · 王俊强 · 林立 · Song, Xiuju · Sun, Xiucai · Jia, Kaicheng · 刘忠范

ACS Nano 2026

具体参数

载流子迁移率

8461 cm² V⁻¹ s⁻¹

方块电阻

401 Ω sq⁻¹

单批次晶圆数量

20

吸附层密度降低倍数

4 orders of magnitude

技术优势

厚度均匀

无吸附层确保单层一致性，提升电学均一性。

工艺窗口宽

对称双催化限域有效调控活性碳化学势，扩大无吸附层生长容忍范围。

电学性能好

吸附层消除后测得平均载流子迁移率达~8461 cm² V⁻¹ s⁻¹（室温）。

应用场景

• 透明导电薄膜：均匀单层提供稳定透明导电性能，替代ITO等传统材料。
• 柔性电子：高质量石墨烯可转移至柔性衬底，保证弯折下的电学稳定性。
• 高迁移率晶体管：高载流子迁移率适合高速晶体管沟道材料，提升开关速度。
• 光电探测器：均匀石墨烯薄膜有利于光生载流子均匀收集，提高探测性能。