微烤箱控制压电MEMS谐振器

−40~105 °C ±190 ppb

双模式压电谐振器结合片上微烤箱，通过锁相控制将器件稳定在频率翻转点，实现在宽工业温度范围内的超高频率稳定性。

Xiao, Yuhao · Han, Jinzhao · Zhu, Kewen · 吴国强

IEEE Electron Device Letters 2023

参数信息

Real-time frequency stability

190 ppb

技术优势

免外部温度补偿

通过锁相环将谐振器锁定在WE模式的温度翻转点，省去额外的温度补偿电路。

片上温度自感知

利用WE和TB模式的频率温度特性差异，实现高精度温度感测，无需独立温度传感器。

应用场景

• 精密频率基准：提供无补偿的高稳频率基准，简化时钟电路。
• 5G宏基站时钟：满足基站宽温、高稳时钟需求，降低系统复杂度。
• 工业物联网传感器节点：在恶劣工业环境中提供可靠时钟，减少校准维护。
• 便携式测试仪器：使便携仪器获得宽温高精度时基，提升测量一致性。