毫米行程纳米精度
针对弯曲型致动器驱动的蜗杆压电电机，提出长短运动策略与前馈补偿，显著抑制迟滞，实现长行程下的高精度纳米定位。
Han, Shuo · Kang, Huazhou · Yu, Jianbo · 杨晓峰
Sensors and Actuators, A: Physical 2025
短运动在微模式下采用四对弯曲型压电致动器并施加前馈补偿，实现满意性能且残余迟滞极小。
采用误差自检方法确保从步进模式到微模式的平滑过渡，避免影响前馈补偿的初始扰动。
前馈补偿基于贝叶斯分类随机配置网络模型，改善样本数据的泛化能力，降低多输入单输出模型过拟合。