双阀压电微泵

微型高效流体驱动

在7×7×1.5 mm的封装内，通过双悬臂梁阀和弧形流道实现更高的能量传递效率，使流量和压力均优于单阀设计，适用于对尺寸和性能要求严苛的微流体系统。

Runyu, Liu · 刘国君 · Wang, Meng · 李新波 · 孙晓东 · Liu, Xiaopeng · 王聪慧

Microsystem Technologies 2024

参数信息

流量

5.1 mL/min

压力

25.7 kPa

外形尺寸

7 x 7 x 1.5 mm

技术优势

同样尺寸输出更高

双悬臂梁阀加速排液，弧形流道提升能量传递效率，使泵在极小体积内实现更高流量和压力。

性能可通过频率调节

流量和压力随驱动频率先增后减，可在特定频率下实现最优输出；随电压线性增加，便于控制。

应用场景

• 微流控系统：微流控芯片中用于精确输送液体，替代传统注射泵。
• 药物输送：作为微型药液输送泵，实现精确剂量控制。
• 冷却系统：用于电子设备冷却回路，驱动冷却液循环。
• 燃料电池供液：为燃料电池供给燃料，替代传统泵。