精度提升96.2%
利用无线工件和自停止特性，实现高均匀性金属微结构加工，精度较传统穿掩膜电化学微加工大幅提升。
Yang, Xiaochen · 杜立群 · Aoqi, Li · Wu, Mengxi · Changhao, Wu · 李经民
International Journal of Machine Tools and Manufacture 2024
感应电极方法使刻蚀非均匀性降至3.8%，相比传统TMEMM精度大幅提升，满足MEMS器件高均匀性要求。
工件无线放置于电场中，避免了传统方法中导线连接引入的干扰和不均匀性，简化了加工设置。
当刻蚀完成时自动停止，避免过刻蚀，保证微结构尺寸精度一致。
利用梯度刻蚀优势，可加工梯度深度和V形微通道阵列，拓展了微结构的复杂形状制造能力。