全闭环控制快速测参
首次针对无镀膜半球谐振子构建全闭环控制系统，集成幅度维持、正交抑制与定向控制回路，显著提升谐振子品质因数测量效率。
陶云峰 · 李晶钰 · Pan, Yao · Jia, Yonglei · 吴伟 · Tang, Xingyuan · Zeng, Libin · 罗晖
Sensors and Actuators, A: Physical 2026
闭环控制将周向品质因数测量时间从 330 min 缩至 48 min，测试效率大幅提升。
幅度维持、正交抑制与定向控制集成于同一闭环系统，实现谐振子稳定受控振动。
对四种典型叉指电极构型进行仿真优化，定量分析关键几何参数对激励效率的影响。