近无损加工
提出磁流变抛光、动态酸蚀与离子束抛光复合的近无损加工方法,显著降低氟化钙元件内部损伤。
李巍 · Changjin, Long · Aoshuang, Shang · 宋辞 · Hamid Ismail Mourad, Abdel · Ahmed Mohamed, Mahmoud Ibrahim
Optics and Laser Technology 2025
光热弱吸收值相较单一磁流变抛光降低96.77%,直接表征亚表面缺陷密度下降。
相较磁流变抛光-离子束抛光两段工艺仍降低87.14%,复合工艺提供额外损伤消除机制。
以面形精度、表面粗糙度和光热弱吸收为指标进行定量对比分析,工艺效果可测量、可复现。