倾斜微结构玻璃

低成本高精度

湿法刻蚀在玻璃上做出光滑倾斜侧壁，让光学和MEMS器件用上以前做不出的微结构。

Li, Feier · 孙昊 · 王任鑫 · 杜立群 · 理以 · Wu, Mengxi · 刘军山

Microsystems and Nanoengineering 2026

技术优势

可调倾斜表面制造

验证了微棱镜、微金字塔、微锥等多种结构

用于扩散板、光波导、VR/AR显示器件