声表面波压力传感器

灵敏度精确计算

结合微扰理论与有限元模拟，该方法可计算不同薄膜尺寸、材料及电极位置下的压力灵敏度分布，设计与实验误差低至0.96%。

Hu, Fanbing · Cheng, Lina · Liang, Yong · 王文

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

mm ST type

3.92 %

mm AT type

0.96 %

mm ST type

6.3 %

mm AT type

1.6 %

技术优势

电极位置可优化

该方法能同时考虑材料、薄膜尺寸和电极位置对灵敏度的影响，从而在设计中针对特定应用优化电极布局。

应用场景

• 精密压力测量：提供高精度压力测量方案，误差可低至0.96%。
• MEMS传感器设计：通过仿真优化设计，减少试制迭代次数。
• 声表面波器件：为SAW压力传感器提供精确灵敏度计算工具。