惯性挫折特征结构

抗制造偏差鲁棒

针对MEMS安全与布防器件，优化设计出一种对制造误差不敏感的惯性挫折特征，提升器件可靠性。

Lei, Shenghong · 曹云 · Wanli, Ma · Zhu, Hengbo · Lu, Haining · 姚建勇 · Nie, Weirong · Xi, Zhanwen

IEEE Sensors Journal 2024

技术优势

考虑制造误差

优化过程中纳入制造误差引起的不确定性，使设计参数对误差不敏感，从而提高批量制造中的一致性。

计算负担减轻

通过灵敏度分析和代理模型降低计算维度，用全局代理模型替代重复有限元分析，减少计算时间。

实验验证有效

优化结果与制备的ISF样片实验数据吻合，证明方法可靠。

应用场景

• MEMS惯性器件：提供抗制造误差的惯性挫折特征，提升惯性器件可靠性。
• 机械可靠性设计：用鲁棒优化方法进行可靠性设计，降低参数不确定性影响。
• MEMS制造工艺：设计对制造误差不敏感，提高工艺良率。