多晶金刚石抛光片

原子级表面

采用刚性玻璃抛光垫与超细金刚石磨料组合，显著抑制晶粒差异去除，实现高度各向同性的原子级表面。

袁菘

Journal of Materials Processing Technology 2026

参数信息

相邻晶粒间相对高度差

约1 nm

测量面积

420 μm

技术优势

单个晶粒内表面粗糙度Ra 0.091 nm

无明显亚表面损伤