铱涂层龙虾眼微孔光学器件

高密度金属涂层提升反射率

采用原子层沉积制备的铱金属薄膜，为龙虾眼X射线光学器件提供高反射率内壁，但高温沉积工艺需要平衡粗糙度与光学性能的权衡。

礼隆汇 · 张臣 · 汪键 · 凌志兴 · Jia, Zhenqing · 丛小青 · 金戈 · Zhang, Zhen · Xu, Zhao · Zhang, Yingjun · Jinyong, Fang · Ouyang, Mingzhao · Fu, Yuegang

Optical Materials 2023

具体参数

角分辨率下降

{'zh': '12.5', 'en': ''} %

射线有效面积降低

{'zh': '约 25', 'en': ''} %

技术优势

21 ± 1 nm 厚的铱金属薄膜