Al₂O₃-HfO₂纳米叠层界面

结合强度超15.5 MPa

在脆性氧化物多层膜之间引入纳米叠层界面，有效阻止层间滑移和开裂，大幅提升结合强度。

Shangtong, Zhou · Xiaofan, Jiang · 钟毅 · 于大全 · 程其进

Surfaces and Interfaces 2024

参数信息

结合强度（纯Al₂O₃/HfO₂界面）
6.58 MPa
结合强度（纳米叠层界面）
>15.54 MPa

技术优势

结合强度翻倍

纳米叠层界面将Al₂O₃/HfO₂结合强度从6.58 MPa提升至15.54 MPa以上，增幅超过136%。

物理机制明确

通过XPS和SIMS分析建立了纳米尺度结合强度模型，并从力场耦合角度阐明了增强机理。

应用场景