可见光透射提升12.5厘
一种免模板的离子束刻蚀制备的亚波长锥形结构，能在不改变铌酸锂本征性质的前提下显著提升其可见光透射性能。
Huishi, Tang · 陈智利 · Tang, Li · Hui, Yingxue · 刘卫国
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers 2023
刻蚀形成的锥形亚波长结构具有渐变折射率效应，能有效抑制铌酸锂表面的菲涅尔反射，显著提高可见光透射率。
采用低能离子束刻蚀方法，无需任何掩模或模板即可在铌酸锂表面直接形成大面积锥形结构，大幅简化了工艺流程。
通过调节离子束入射能量、束流、入射角和刻蚀时间，可以控制锥形结构的高度和表面粗糙度，从而优化增透性能。