三层堆叠MOEMS加速度计

噪声低至0.40 µg/√Hz

利用湿法/干法混合刻蚀与低温胶键合实现高对称三层晶圆级集成，突破二维MEMS惯性传感器在灵敏度和多功能性上的制造瓶颈。

李鹏飞 · Yan, Xin · 张习文 · 王海燕 · 卢乾波

Micromachines 2026

参数信息

噪声基底

0.40 µg/

偏置不稳定性

1.81 µg

技术优势

三层对称堆叠